学霸的军工科研系统 第1467节（2 / 4）
即便在寒暄时，嘴角的弧度也几乎压不下去。
简短的欢迎仪式后，一行人被引导进入更衣区。
繁琐的无尘服穿戴程序一丝不苟：脱下外套，换上连体洁净服，戴上头套、口罩、护目镜，套上鞋套。
接着是严格的风淋，强劲的气流吹走所有可能的微粒。
最后经过一道气闸门，正式踏入生产区核心地带——
恒定的温度，适宜的湿度，class 100级别的无尘超净间。
柔和的顶光均匀洒下，照亮了排列整齐的自动化设备和纵横交错的物料传输线。
穿着同样白色无尘服的技术人员如同精密仪器的一部分，在各自的岗位上专注操作或监控数据，一切井然有序，只有轻微的蜂鸣和气流声。
几乎是刚一进门，众人的目光就不约而同地被吸引到生产区域中心位置。
那里摆放着一台体积明显更小的光刻设备。
稍微走近几步之后，就能看到银灰色的外壳上，“arf1800”的标识清晰醒目。
此刻，一群技术人员正围拢在它的操作台和监控屏幕前，进行着流片前的最后确认。
头顶高处挂着一个标识牌：f-3产线。
“就是它了。”吴明翰的声音带着自豪引着众人走到一个安全的观察距离，“arf1800，我们自己的深紫外光刻机。”
他指向设备，开始介绍，语速平稳却透着自信：“这台机器，光源、掩膜台、对准系统、控制系统，都充分继承了前代1500型和1200型的成熟设计理念和操作逻辑，并做了大量优化。尤其是光源的稳定性和对准精度，提升显著。”
他眼神中带着感激地看了一眼常浩南：“我们的工程师团队全程参与了上沪微电子的组装调试，对它的‘脾气’摸得很透所以这次产线升级和人员培训非常顺利，也比预期更快地克服了最后的一些技术问题。”
就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（amhs）的机械臂，平稳地运送到了f-3产线的起始工位。
常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。
这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。
“这是12英寸晶圆吧……”常浩南问道，“上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？”
“常院士好眼力！”
吴明翰赞道，脸上笑容更盛：
“arf1800的高分辨率和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同步升级了f-3产线的晶圆处理系统，全面兼容12英寸晶圆。大尺寸晶圆能显著提升单次生产的芯片数量，降低成本，这也是国际主流的方向。”
众人的视线随着逐个铺展开来的晶圆在整条产线上不断转移着——
晶圆首先进入全自动清洗和前烘设备，去除表面污染物和水分。
接着是氧化炉，在晶圆表面生长一层薄而均匀的二氧化硅。
随后，晶圆被送入关键的匀胶机。
高速旋转中，粘稠的光刻胶被精准地涂覆在晶圆表面，形成一层厚度仅有微米级别的均匀薄膜，接着前烘氧化进一步去除溶剂，固化胶膜。
对于华芯国际而言，这些步骤都已经相当成熟。
但所有人仍然屏息凝神，生怕稍微粗重些的呼吸影响到某个细微参数，或是引得机魂不悦。 ↑返回顶部↑
简短的欢迎仪式后，一行人被引导进入更衣区。
繁琐的无尘服穿戴程序一丝不苟：脱下外套，换上连体洁净服，戴上头套、口罩、护目镜，套上鞋套。
接着是严格的风淋，强劲的气流吹走所有可能的微粒。
最后经过一道气闸门，正式踏入生产区核心地带——
恒定的温度，适宜的湿度，class 100级别的无尘超净间。
柔和的顶光均匀洒下，照亮了排列整齐的自动化设备和纵横交错的物料传输线。
穿着同样白色无尘服的技术人员如同精密仪器的一部分，在各自的岗位上专注操作或监控数据，一切井然有序，只有轻微的蜂鸣和气流声。
几乎是刚一进门，众人的目光就不约而同地被吸引到生产区域中心位置。
那里摆放着一台体积明显更小的光刻设备。
稍微走近几步之后，就能看到银灰色的外壳上，“arf1800”的标识清晰醒目。
此刻，一群技术人员正围拢在它的操作台和监控屏幕前，进行着流片前的最后确认。
头顶高处挂着一个标识牌：f-3产线。
“就是它了。”吴明翰的声音带着自豪引着众人走到一个安全的观察距离，“arf1800，我们自己的深紫外光刻机。”
他指向设备，开始介绍，语速平稳却透着自信：“这台机器，光源、掩膜台、对准系统、控制系统，都充分继承了前代1500型和1200型的成熟设计理念和操作逻辑，并做了大量优化。尤其是光源的稳定性和对准精度，提升显著。”
他眼神中带着感激地看了一眼常浩南：“我们的工程师团队全程参与了上沪微电子的组装调试，对它的‘脾气’摸得很透所以这次产线升级和人员培训非常顺利，也比预期更快地克服了最后的一些技术问题。”
就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（amhs）的机械臂，平稳地运送到了f-3产线的起始工位。
常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。
这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。
“这是12英寸晶圆吧……”常浩南问道，“上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？”
“常院士好眼力！”
吴明翰赞道，脸上笑容更盛：
“arf1800的高分辨率和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同步升级了f-3产线的晶圆处理系统，全面兼容12英寸晶圆。大尺寸晶圆能显著提升单次生产的芯片数量，降低成本，这也是国际主流的方向。”
众人的视线随着逐个铺展开来的晶圆在整条产线上不断转移着——
晶圆首先进入全自动清洗和前烘设备，去除表面污染物和水分。
接着是氧化炉，在晶圆表面生长一层薄而均匀的二氧化硅。
随后，晶圆被送入关键的匀胶机。
高速旋转中，粘稠的光刻胶被精准地涂覆在晶圆表面，形成一层厚度仅有微米级别的均匀薄膜，接着前烘氧化进一步去除溶剂，固化胶膜。
对于华芯国际而言，这些步骤都已经相当成熟。
但所有人仍然屏息凝神，生怕稍微粗重些的呼吸影响到某个细微参数，或是引得机魂不悦。 ↑返回顶部↑