学霸的军工科研系统 第1443节（3 / 4）
好在常浩南及时开口，向二人分别介绍了对方的身份。
这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。
而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。
工建委一把手！
他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——
眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。
结果僵在原地，一时不知如何是好。
一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。
“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给smee arf-1800光刻机研发的物镜系统，还有作为对照组的arf-1500物镜”
又是常浩南及时开口，把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。
无形的压力瞬间消失，张汝宁如蒙大赦，立刻接上话题：
“我们刚刚进行的测试，就是在193nm的duv光源条件下，对比新旧两种物镜方案的性能……”
栾文杰并非光学系统或者半导体出身，之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子，所以下意识来到体积更大的1500模组旁边，左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的1800模组。
“体积大了这么多？”
显然，他是把更大的模组当成了更先进的。
当然传统上，光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。
只不过常浩南的路子实在不同寻常。
张汝宁赶紧解释：
“我们采用了火炬实验室提供的负折射材料，结合常院士提出的‘折反镜一体设计’理念，大大简化了物镜组的光学设计。”
听到“简化”两个字，栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。
好在还没把脸给丢出去，所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边，微微俯身，似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。
只是理所当然地失败了。
“传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片，用于校正像差、色差，并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂，体积和重量很大，而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。”
张汝宁进一步介绍道：
“而在更新的1800物镜组里面，大部分功能被集成在少数几片核心镜片上，独立光学元件的数量缩减到14个，所以体积比老型号小了一半以上……”
“……”
就在这时，一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。
“张组长，最新一组测试数据已经处理完成！”
他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边，汇报道：
“193nm波长下，1800物镜组的等效数值孔径（na）实测最大值为1.8009，最小值为1.7996，na一致性达到±0.0013，该数值远优于我们设计指标要求的±0.006，也完全符合设计方案中理论na值1.80的预期……” ↑返回顶部↑
这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。
而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。
工建委一把手！
他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——
眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。
结果僵在原地，一时不知如何是好。
一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。
“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给smee arf-1800光刻机研发的物镜系统，还有作为对照组的arf-1500物镜”
又是常浩南及时开口，把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。
无形的压力瞬间消失，张汝宁如蒙大赦，立刻接上话题：
“我们刚刚进行的测试，就是在193nm的duv光源条件下，对比新旧两种物镜方案的性能……”
栾文杰并非光学系统或者半导体出身，之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子，所以下意识来到体积更大的1500模组旁边，左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的1800模组。
“体积大了这么多？”
显然，他是把更大的模组当成了更先进的。
当然传统上，光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。
只不过常浩南的路子实在不同寻常。
张汝宁赶紧解释：
“我们采用了火炬实验室提供的负折射材料，结合常院士提出的‘折反镜一体设计’理念，大大简化了物镜组的光学设计。”
听到“简化”两个字，栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。
好在还没把脸给丢出去，所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边，微微俯身，似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。
只是理所当然地失败了。
“传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片，用于校正像差、色差，并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂，体积和重量很大，而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。”
张汝宁进一步介绍道：
“而在更新的1800物镜组里面，大部分功能被集成在少数几片核心镜片上，独立光学元件的数量缩减到14个，所以体积比老型号小了一半以上……”
“……”
就在这时，一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。
“张组长，最新一组测试数据已经处理完成！”
他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边，汇报道：
“193nm波长下，1800物镜组的等效数值孔径（na）实测最大值为1.8009，最小值为1.7996，na一致性达到±0.0013，该数值远优于我们设计指标要求的±0.006，也完全符合设计方案中理论na值1.80的预期……” ↑返回顶部↑