学霸的军工科研系统 第1437节（2 / 4）
减少三分之一，这很重要。
但还不是最重要的。
“而且，”张汝宁补充道，“这套系统的体积，只有传统消色散组件的不到五分之一！”
更紧凑的体积和更简单的结构，相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。
显然，他们成功了。
这不仅仅是数据的胜利。
还是为突破asml在光刻技术上的封锁，打开了一扇充满希望的窗……
不对。
何止是开窗。
这是把房顶都给掀了……
就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时，气密门再次滑开。
一名测试人员探进头来：“栗教授，有电话找，常院士的。”
正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣，接着匆匆离开。
但仅仅几分钟后，又去而复返。
“各位！”栗亚波打断了讨论和庆祝。“常院士让我立刻通知大家，尽快去顶楼会议室集合！”
张汝宁脸上的笑容瞬间收敛，严肃起来：
“栗教授什么事这么急？”
他看了看旁边的设备，还有电脑屏幕上的数据：“实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去么？”
“老师说，他找到了一种全新的理论方法！”
可能是因为之前一路跑过来的缘故，栗亚波的呼吸有些急促：
“可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。”
此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。
“替代琼斯矩阵？”
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题，无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。 ↑返回顶部↑
但还不是最重要的。
“而且，”张汝宁补充道，“这套系统的体积，只有传统消色散组件的不到五分之一！”
更紧凑的体积和更简单的结构，相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。
显然，他们成功了。
这不仅仅是数据的胜利。
还是为突破asml在光刻技术上的封锁，打开了一扇充满希望的窗……
不对。
何止是开窗。
这是把房顶都给掀了……
就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时，气密门再次滑开。
一名测试人员探进头来：“栗教授，有电话找，常院士的。”
正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣，接着匆匆离开。
但仅仅几分钟后，又去而复返。
“各位！”栗亚波打断了讨论和庆祝。“常院士让我立刻通知大家，尽快去顶楼会议室集合！”
张汝宁脸上的笑容瞬间收敛，严肃起来：
“栗教授什么事这么急？”
他看了看旁边的设备，还有电脑屏幕上的数据：“实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去么？”
“老师说，他找到了一种全新的理论方法！”
可能是因为之前一路跑过来的缘故，栗亚波的呼吸有些急促：
“可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。”
此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。
“替代琼斯矩阵？”
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题，无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。 ↑返回顶部↑