学霸的军工科研系统 第1430节（3 / 4）
无论“突破衍射极限”的猜想是否能够成行，负折射率材料天生的负色散特性总归是确定存在的。
单凭其在色差补偿方面的颠覆性能力，也足以成为解决超高na物镜组设计痛点的关键。
他心中迅速盘算起来：
如果能把现有duv光刻机的na值从1.35大幅提升到1.70以上，相当于把等效分辨率波长从142.2nm压缩到112.9nm。
这将极大扩展现有duv设备的实用能力边界，可能直接解决40nm乃至28nm的图形化问题，显著减轻对多重曝光技术的依赖，从而绕开良率和成本的泥潭！
片刻的思索后，常浩南心中已有了初步的盘算。
他依旧没有直接点破负折射率材料的存在，但决定再向前推进一步。
“实不相瞒，火炬实验室目前正在探索一种新型的光学系统设计理念，其中涉及一些……非传统的路径。”他措辞谨慎，“为了更好地评估这种新理念的潜力，我们迫切需要一些关键的设计输入参数。”
吴明翰心说终于来了。
对方提出的要求极其具体且专业，目标明确指向了物镜系统。
结合之前提到的“新型设计理念”和对镥铝石榴石特性的关注，一个模糊但激动人心的轮廓在吴明翰脑海中逐渐浮现——
常院士手中，很可能掌握着一种能够解决高na值问题的颠覆性技术！
想到这里，他用肉眼难辨的速度掏出了早就准备好的纸笔：
“您说”
常浩南看着眼前这副早有准备样子也是一愣，然后开始列出需求：
“首先，我们需要明确目标na值下对应的、实际光刻工艺所要求的光学设计规格。包括但不限于：有效成像视场的大小、允许的最大波像差、畸变容限、还有系统的工作距离等硬性指标。”
“其次是透镜组的整体结构布局……”
“……”
洋洋洒洒，十几分钟才终于说完。
吴明翰从头到尾浏览了一下。
不知道是不是常浩南有意，总之几乎不涉及华芯国际的核心技术。
甚至无需向董事会征求意见，他这个层级就能直接做决定。
于是朝着周学点了点头。
后者随即接过话茬：
“虽然全折射物镜的研发项目已经中止，但所有技术文档和实验数据都完整归档保存着，我可以直接授权调阅，虽然当初的设计远达不到1.7na的指标，但里面的设计逻辑、材料选择考量、以及当时遇到的像差问题记录，应该很有价值。”
“放心，调阅就足够了。”常浩南点头，“都是一套体系里面的，我知道内部会有一些保密要求，不会复制的。”
周学听罢，略略松了口气：
如果对方真要拷贝一份带走，难做的只会是他自己。
“感谢常院士您理解。”
周学搓了搓手，但旋即语气一变： ↑返回顶部↑
单凭其在色差补偿方面的颠覆性能力，也足以成为解决超高na物镜组设计痛点的关键。
他心中迅速盘算起来：
如果能把现有duv光刻机的na值从1.35大幅提升到1.70以上，相当于把等效分辨率波长从142.2nm压缩到112.9nm。
这将极大扩展现有duv设备的实用能力边界，可能直接解决40nm乃至28nm的图形化问题，显著减轻对多重曝光技术的依赖，从而绕开良率和成本的泥潭！
片刻的思索后，常浩南心中已有了初步的盘算。
他依旧没有直接点破负折射率材料的存在，但决定再向前推进一步。
“实不相瞒，火炬实验室目前正在探索一种新型的光学系统设计理念，其中涉及一些……非传统的路径。”他措辞谨慎，“为了更好地评估这种新理念的潜力，我们迫切需要一些关键的设计输入参数。”
吴明翰心说终于来了。
对方提出的要求极其具体且专业，目标明确指向了物镜系统。
结合之前提到的“新型设计理念”和对镥铝石榴石特性的关注，一个模糊但激动人心的轮廓在吴明翰脑海中逐渐浮现——
常院士手中，很可能掌握着一种能够解决高na值问题的颠覆性技术！
想到这里，他用肉眼难辨的速度掏出了早就准备好的纸笔：
“您说”
常浩南看着眼前这副早有准备样子也是一愣，然后开始列出需求：
“首先，我们需要明确目标na值下对应的、实际光刻工艺所要求的光学设计规格。包括但不限于：有效成像视场的大小、允许的最大波像差、畸变容限、还有系统的工作距离等硬性指标。”
“其次是透镜组的整体结构布局……”
“……”
洋洋洒洒，十几分钟才终于说完。
吴明翰从头到尾浏览了一下。
不知道是不是常浩南有意，总之几乎不涉及华芯国际的核心技术。
甚至无需向董事会征求意见，他这个层级就能直接做决定。
于是朝着周学点了点头。
后者随即接过话茬：
“虽然全折射物镜的研发项目已经中止，但所有技术文档和实验数据都完整归档保存着，我可以直接授权调阅，虽然当初的设计远达不到1.7na的指标，但里面的设计逻辑、材料选择考量、以及当时遇到的像差问题记录，应该很有价值。”
“放心，调阅就足够了。”常浩南点头，“都是一套体系里面的，我知道内部会有一些保密要求，不会复制的。”
周学听罢，略略松了口气：
如果对方真要拷贝一份带走，难做的只会是他自己。
“感谢常院士您理解。”
周学搓了搓手，但旋即语气一变： ↑返回顶部↑