学霸的军工科研系统 第1428节（3 / 4）
因此比较委婉地回答道：
“常院士，智能制造和物联网这块，主要应该是48nm，或者更成熟的65nm、90nm节点，这些算是我们目前产能的主力，良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错，成本也有竞争力，但是……”
他话锋一转，转向另一个角度：
“您说的‘更精细节点’，如果想通过nxt：1950i这样的深紫外设备制造，那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术，去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上，我们确实在攻关，也取得了一些成果。”
常浩南也看出对方是会了意，于是追问：“量产能力和良率如何？”
吴明翰摇摇头，语气变得沉重起来：“理论上，曝光次数每翻一倍，分辨率就能增加一倍，但实际问题非常大……”
说到这里他略略加快脚步，和常浩南来到一个稍僻静的地方：
“一方面，这些技术本身极其复杂，工艺整合还不完全成熟，任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面，多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数，每一次对准都会引入微小的误差，累积起来，会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差，关键尺寸偏差飙升……”
“总体来说，双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸，但良品率和成本都不太容易控制，产能也就不可能提上去，至于四重曝光……”
吴明翰脸部肌肉抽动了一下：“理论性能几乎可以对标euv，不过大概率连一片产品都流不出来。”
常浩南静静地听着，脸上没有任何惊讶或失望的表情，仿佛早已预料到这个答案。
他对吴明翰描述的困境不置可否，既没有追问细节，也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。
只是沉默了几秒钟，然后提出了一个让吴明翰更加意外，却又隐隐觉得合情合理的请求：
“吴院士，您说的我明白了。技术攻关的艰难，我深有体会。”他停顿了一下，“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排，就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”
实际上，这个要求提的有些冒失。
华芯国际毕竟是个企业，常浩南手里也有企业，虽说不构成直接竞争，但你开口就要去最核心的地方看看，总归不太合适。
但吴明翰心中却念头飞转：常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣？而且是成熟制程？还要实地看生产线？
这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。
联想到火炬实验室那些前沿研究成果……
吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。
他隐隐感觉到，这次参观如果成行，或许会带来一些意想不到的转机。
“当然方便！”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来，“我马上联系人安排！您看什么时候合适？我们全程配合！”
第1606章 还是要准备一下
当吴明翰在餐厅门口找到周学时，后者正在和几位产业伙伴低声交谈。
他耐心等到谈话告一段落，才上前几步，压低声音，简单说明了常浩南的参观请求。
周学脸上掠过一丝难以察觉的惊愕，随即恢复常态。
他示意吴明翰稍等，转身与几位伙伴简短致歉后，便带着吴明翰走向一处更安静的角落。
“常院士要来看生产线？”周学确认道，语气中带着慎重。
“是，就在未来几天内，越快越好。”吴明翰点头，“他强调了想看到‘最真实’的状态，不是走马观花。”
末了，又带着一丝歉意补充： ↑返回顶部↑
“常院士，智能制造和物联网这块，主要应该是48nm，或者更成熟的65nm、90nm节点，这些算是我们目前产能的主力，良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错，成本也有竞争力，但是……”
他话锋一转，转向另一个角度：
“您说的‘更精细节点’，如果想通过nxt：1950i这样的深紫外设备制造，那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术，去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上，我们确实在攻关，也取得了一些成果。”
常浩南也看出对方是会了意，于是追问：“量产能力和良率如何？”
吴明翰摇摇头，语气变得沉重起来：“理论上，曝光次数每翻一倍，分辨率就能增加一倍，但实际问题非常大……”
说到这里他略略加快脚步，和常浩南来到一个稍僻静的地方：
“一方面，这些技术本身极其复杂，工艺整合还不完全成熟，任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面，多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数，每一次对准都会引入微小的误差，累积起来，会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差，关键尺寸偏差飙升……”
“总体来说，双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸，但良品率和成本都不太容易控制，产能也就不可能提上去，至于四重曝光……”
吴明翰脸部肌肉抽动了一下：“理论性能几乎可以对标euv，不过大概率连一片产品都流不出来。”
常浩南静静地听着，脸上没有任何惊讶或失望的表情，仿佛早已预料到这个答案。
他对吴明翰描述的困境不置可否，既没有追问细节，也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。
只是沉默了几秒钟，然后提出了一个让吴明翰更加意外，却又隐隐觉得合情合理的请求：
“吴院士，您说的我明白了。技术攻关的艰难，我深有体会。”他停顿了一下，“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排，就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”
实际上，这个要求提的有些冒失。
华芯国际毕竟是个企业，常浩南手里也有企业，虽说不构成直接竞争，但你开口就要去最核心的地方看看，总归不太合适。
但吴明翰心中却念头飞转：常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣？而且是成熟制程？还要实地看生产线？
这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。
联想到火炬实验室那些前沿研究成果……
吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。
他隐隐感觉到，这次参观如果成行，或许会带来一些意想不到的转机。
“当然方便！”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来，“我马上联系人安排！您看什么时候合适？我们全程配合！”
第1606章 还是要准备一下
当吴明翰在餐厅门口找到周学时，后者正在和几位产业伙伴低声交谈。
他耐心等到谈话告一段落，才上前几步，压低声音，简单说明了常浩南的参观请求。
周学脸上掠过一丝难以察觉的惊愕，随即恢复常态。
他示意吴明翰稍等，转身与几位伙伴简短致歉后，便带着吴明翰走向一处更安静的角落。
“常院士要来看生产线？”周学确认道，语气中带着慎重。
“是，就在未来几天内，越快越好。”吴明翰点头，“他强调了想看到‘最真实’的状态，不是走马观花。”
末了，又带着一丝歉意补充： ↑返回顶部↑